MEMSとは？

MEMSとは、半導体の微細加工技術を使って、機械要素・センサ・電子回路を1つの基板上に一体化した微小な装置。小型・低消費電力で大量生産に向き、加速度や角速度、圧力を測る素子として組込み機器に広く搭載される。

めむす

高度試験・午前I（全区分共通）の頻出用語／午前I（全区分共通）

MEMSの意味

半導体の微細加工技術を使って、機械要素・センサ・電子回路を1つの基板上に一体化した微小な装置。小型・低消費電力で大量生産に向き、加速度や角速度、圧力を測る素子として組込み機器に広く搭載される。

スマートフォンの画面の向きの検知や、自動車のエアバッグ展開の判断に使う加速度センサ、プリンタのインク吐出機構などがこの技術で作られており、数ミリ角の部品で機械的な動きを電気信号に変換する。

センサ専用の技術と思われがちだが、微小なポンプやミラーなど駆動側の素子も含む。単なる小型部品の総称ではなく、半導体プロセスで機械構造を作り込む点が定義上の要件である。

最終更新：2026-08-25／解説は資格暗記が独自に作成しています。過去問の出典は各問題に記載のとおりです。