MEMSとは？
MEMSとは、半導体の微細加工技術を使って、機械要素・センサ・電子回路を1つの基板上に一体化した微小な装置。小型・低消費電力で大量生産に向き、加速度や角速度、圧力を測る素子として組込み機器に広く搭載される。
めむす
MEMSの意味
半導体の微細加工技術を使って、機械要素・センサ・電子回路を1つの基板上に一体化した微小な装置。小型・低消費電力で大量生産に向き、加速度や角速度、圧力を測る素子として組込み機器に広く搭載される。
MEMSの具体例
スマートフォンの画面の向きの検知や、自動車のエアバッグ展開の判断に使う加速度センサ、プリンタのインク吐出機構などがこの技術で作られており、数ミリ角の部品で機械的な動きを電気信号に変換する。
MEMSは試験でどう引っ掛けられる？
センサ専用の技術と思われがちだが、微小なポンプやミラーなど駆動側の素子も含む。単なる小型部品の総称ではなく、半導体プロセスで機械構造を作り込む点が定義上の要件である。
MEMSと関連する用語
最終更新：2026-08-25／解説は資格暗記が独自に作成しています。 過去問の出典は各問題に記載のとおりです。